减压器系列
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G31 超高纯减压器
型号:G31
  • 产品特点

      ●G31 系列双级 Tied-Diaphragm 高纯减压器严格按SEMI 要求制造,在 Class 100(1SO5)无坐室组装测测试包装,适用于半导体制程中的特种气体控制。
      ●316L或316LVAR 不锈钢母体
      ●不锈钢隔膜式结构,金属硬密封
      ●膜片阀芯一体式结构
      ●压力表标准连接:VSM4
      ●内部电解抛光
      ●经氦气测试
  • 技术参数
  • 资料下载
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